截至6月30日收盘，光刻机概念上涨3.90%，位居概念板块涨幅第3，板块内，36股上涨，蓝英装备20%涨停，凯美特气、中瓷电子、*ST和科等涨停，波长光电、久日新材、国林科技等涨幅居前，分别上涨9.44%、7.81%、7.34%。

今日涨跌幅居前的概念板块

概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）兵装重组概念8.89期货概念-0.44脑机接口5.17金属锌-0.08光刻机3.90乳业-0.06成飞概念3.82盐湖提锂0.01国产航母3.68水泥概念0.01军民融合3.60金属铅0.04航空发动机3.21深圳国企改革0.06光刻胶3.19互联网保险0.10BC电池2.99中韩自贸区0.11大飞机2.98煤炭概念0.13

资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.07亿元，其中，24股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是蓝英装备，今日主力资金净流入2.79亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、中瓷电子、旭光电子等，主力资金分别净流入2.26亿元、7696.83万元、5610.98万元。

资金流入比率方面，凯美特气、中瓷电子、蓝英装备等流入比率居前，主力资金净流入率分别为56.32%、39.09%、31.36%。（数据宝）

光刻机概念资金流入榜

代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）300293蓝英装备20.0013.0427855.8431.36002549凯美特气10.045.6622577.4056.32003031中瓷电子10.011.117696.8339.09600353旭光电子6.3810.335610.985.03301421波长光电9.4439.333484.072.38688630芯碁微装0.212.793075.5210.53600850电科数字2.801.501853.728.35300786国林科技7.3421.961602.483.21301611珂玛科技5.3610.301587.464.67688268华特气体3.902.791577.479.37688409富创精密1.163.491469.154.30688502茂莱光学4.318.53986.922.40603005晶方科技1.435.07759.020.81600619海立股份4.307.84746.281.05300219鸿利智汇2.282.74674.325.18603297永新光学2.151.64533.733.39002889东方嘉盛2.743.61461.043.39301297富乐德2.997.22432.981.03603360百傲化学1.492.06331.951.01301568思泰克0.2611.32221.501.08300691联合光电2.243.69197.771.33002816*ST和科5.001.63164.525.55688199久日新材7.815.75162.340.76300331苏大维格4.678.89110.940.27300456赛微电子3.374.09-55.52-0.13688376美埃科技1.721.58-164.49-5.47002008大族激光1.201.63-328.11-0.84603738泰晶科技1.592.46-367.12-2.61003043华亚智能4.005.20-431.33-2.43688307中润光学1.172.69-502.50-11.23300990同飞股份1.735.80-644.40-2.87300260新莱应材4.3813.44-733.63-0.57600895张江高科2.722.68-787.88-0.73688167炬光科技1.834.20-1582.30-5.16300666江丰电子1.242.73-1911.14-4.27603800洪田股份-1.714.06-2623.01-12.17688195腾景科技2.746.60-3321.30-8.45